Zur Erzielung optimaler Coatings müssen Substrat- und Tischgröße aufeinander abgestimmt werden. Bei den Geräten ohne Vakuum-Option sind die Tische mit Aussparungen versehen, die exakt zu den verwendeten Substraten passen. Bei Geräten mit Vakuum-Option optimieren Sie die Haltekräfte durch möglichst große Überdeckung der Tischfläche. Dabei minimieren Sie gleichzeitig das Risiko, Coating-Material in den Vakuum-Trakt zu saugen.
angegeben ist jeweils der Innen-/Außendurchmesser
Bezeichnung
Material
Beschreibung
ST-12
VA
Probentisch für Waferstücke 8mm x 3mm
ST-18
VA
Probentisch 18/10 für alle SCI-Geräte
ST-18K
VA
wie vor, Innendurchmesser 10...17 auf Kundenwunsch
ST-18-QCM
VA
wie vor, für QCM-Substrate 18/14,1 mm, zusätzliche seitliche Grifftaschen für Pinzette
ST-40
Al
Probentisch 40/20 für alle SCI-Geräte
ST-40K
Al
wie vor, Innendurchmesser 20...38 auf Kundenwunsch
ST-40R
Al
wie ST-40, aber mit Reservoir zur Rückgewinnung von Probenmaterial
ST-40RK
Al
wie vor, Innendurchmesser 20...32 auf Kundenwunsch
ST-72
Al
Probentisch 72/70,7;geeignet für quadratische 50 mm – Substrate, Nur für SCI-10 und -20 empfohlen!
ST-72K
Al
wie vor, Innendurchmesser 50...71 auf Kundenwunsch
angegeben ist jeweils der Außendurchmesser
Bezeichnung
Material
Beschreibung
VT-25plan
Al
Probentisch 25mm für alle Vakuum-Geräte (Plantisch)
VT-30
Al
Probentisch 30mm für alle Vakuum-Geräte
VT-50
Al
Probentisch 50mm für alle Vakuum-Geräte
VT-50 plan
Al
Probentisch 50mm für alle Vakuum-Geräte (Plantisch) Artikel läuft aus, z.Zt. günstiger Abverkaufspreis!
VT-70
Al
Probentisch 70mm für alle Vakuum-Geräte
VT-90
Al
Probentisch 90mm für alle Vakuum-Geräte (auf Anfrage)
